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产品简介
Marangoni干燥
1): 适用于多种规格晶片的干燥;
2): 独立的控制系统,可单独使用,也可整个模组兼容到自动清洗机上使用;
3): 无机械运动机构,防止运行时晶圆破损;
4): *小的活动部件提供更高的系统可靠性,降低设备维护费用;
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