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产品分类
产品简介
SIC切割后清洗机
1): 拥有多种规格型号,适用于不同尺寸SIC晶圆的清洗;
2): 适用于4寸丶、6寸、8寸等多规格SIC衬底片的刻蚀清洗
3): 全自动控制,机械手传递片篮,采用工控机+触摸屏控制方式,电器件均采用进口品牌
4): 自动供/补液,配超声波、溢流循环。在线加热等功能
5): 湿法上料,干法下料,配热N2烘干槽
6): 配酸碱隔断门、FFU保证设备运行环境
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