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产品简介
全自动胶带研磨清洗机
1): 采用典型、普遍的湿法清洗方法,使硅片清洗的更彻底;
2): 采用独立工位伺服机械手、运行过程可监控;
3): 采用先进的酸液控温技术、能有效控制工艺温度;
4): 全自动控制,可选择自动配/补液,保证设备的安全稳定性;
5): 设备由PLC控制,各部分均可以独立操作
6): 采用国际知名电气元件;
7): 可满足客户多种工艺及产能的定制化需求。
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