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产品分类
产品简介
12寸边缘刻蚀机
1): 适用于6-12”硅片的去边处理;
2): 去边规格0.4-1.5mm,去边精度±0.1mm,特殊规格支持定制;
3): 设备包含FOUP LoadPort,Pre-Aligner,WTR机械手,机械模组,Buffer位,刻蚀槽,水洗槽,甩干位,储酸槽;
4): FOUP LoadPort各部分均可以独立操作;
5): 具有两套硅片上料线,上料WTR将硅片搬运至Pre-Aligner中定心并寻参;
6): 用真空吸盘吸附的方式进行硅片的搬运;
7): 下料WTR取走放入到下载FOUP指定Slot中;
8): 采用国际知名的电气元件。
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