认证信息
高级会员 第 1 年
名 称:南轩(天津)科技有限公司认 证:工商信息已核实
访问量:2076
手机网站
扫一扫,手机访问更轻松
产品分类
产品简介
12寸边缘刻蚀机
1): 适用于6-12”硅片的去边处理;
2): 去边规格0.4-1.5mm,去边精度±0.1mm,特殊规格支持定制;
3): 设备包含FOUP LoadPort,Pre-Aligner,WTR机械手,机械模组,Buffer位,刻蚀槽,水洗槽,甩干位,储酸槽;
4): FOUP LoadPort各部分均可以独立操作;
5): 具有两套硅片上料线,上料WTR将硅片搬运至Pre-Aligner中定心并寻参;
6): 用真空吸盘吸附的方式进行硅片的搬运;
7): 下料WTR取走放入到下载FOUP指定Slot中;
8): 采用国际知名的电气元件。
- 推荐产品
- 供应产品
- 产品分类